上杭“特氣企業”破“卡”攀高峰

來源:福建日報 2026-03-03 09:15 http://m.zlytsxxsbc.cn/

　　一顆芯片放大一萬倍，會是什么樣？

　　“它會呈現出如現代城市一般鱗次櫛比的復雜結構。”位于上杭蛟洋工業園區的福建德爾科技股份有限公司內，全國勞模、德爾科技董事會秘書林德榮捏起一片只有指甲蓋大小的芯片回答。芯片雖小，卻可能排列著近百億個晶體管和數十億條線路，需要使用超凈高純電子氣體或半導體級濕電子化學品清洗其中的縫隙。

　　對早已進入納米精度級別的芯片來說，“清洗劑”的純度極為關鍵。“以前，電子級三氟化氯這種清洗芯片的關鍵材料長期被日本壟斷。”林德榮說。然而，這家扎根于閩西紅土地上的科技獨角獸企業，如今已沖破了電子級三氟化氯生產的技術壁壘，成為國內首家規?；a電子級三氟化氯的企業，實現了電子級三氟化氯國產替代進口。

　　走進德爾科技的生產車間，技術人員緊盯著設備的參數變化，一手把著材料氣的進氣閥門，一腳搭著天然氣的進氣閥門，目光不敢移開片刻。“通過智能化控制及人工控制‘雙保險’，可以在合成反應過程出現突發狀況時及時調整，避免安全事故。”林德榮輕聲解釋，對他們而言，維持這樣的動作半個小時是家常便飯。

　　電子級三氟化氯是電子特氣領域的“珠穆朗瑪峰”。“氟和氯都是負電性，合成氣體的難度極高，產品穩定性低。合成后如何提純、剔除其他雜質氣體等等，都是要突破的難題。”談起三氟化氯攻關歷程，林德榮十分感慨，為了捕捉瞬時化學反應的細微變化，工程師常連續24小時輪番值守，實驗室常常在深夜燈火通明。

　　曲線出現異常波動，就輪流盯著記錄；不知選擇哪種催化劑，就依托公司國家級企業技術中心的仿真計算中心反復驗算；買不到三氟化氯色譜檢測設備，就自己開發首臺套……三年技術攻關路，技術工程師既經歷過令人窒息的失望，也感受過取得突破的喜悅。最終，德爾科技成功制備出純度高達99.99%的電子級三氟化氯。

　　180多位專職技術研究人員，2025年研發投入將近6000萬元，累計解決包括三氟化氯在內的13項“卡脖子”材料難題……“緊盯市場所需，急國家所急，舍得投入創新——這是公司在半導體材料戰場上的破局秘訣。”林德榮表示，韓國三星、臺積電、中芯國際、長江存儲等頭部半導體企業，現在都成了德爾科技的客戶。

　　高新企業的成長，同時離不開上杭這塊紅土地的滋養。“這里的政企互動特別通暢，政府不僅督查項目進度，還會主動協調解決企業碰到的難題。”林德榮說，為改變當地原先的崎嶇地貌，公司制定了土地連片開發方案，上杭縣委縣政府主動幫助溝通協調，為企業排憂解難。在政府的助力支持下，2025年，公司營收獲得歷史新高，首次超過20億元，凈利潤同比增長超過50%。

　　“當前企業發展基本面扎實，全產業鏈發展韌性和企業未來盈利態勢良好。”展望未來，林德榮信心滿懷。公司將根據不同業務的周期特點，制定差異化目標。在進一步提升單一客戶訂單量的同時，持續拓展新客戶體量，快速擴大產能投放。“2026年，公司營收有望沖擊30億元。”

　?。ㄓ浾?徐士媛通訊員林斯乾）

原標題：上杭“特氣企業”破“卡”攀高峰

責任編輯：凌芹莉